主要规格及技术指标： 1、XYZ 扫描范围：50um*50um*5um 2、扫描方式：样品驱动扫描 3、扫描分辨率：XY 向0.2nm，Z 向0.04nm 4、开尔文电压分辨率：10mV 5、系统噪音水平：纵向RMS≤30 pm 6、样品尺寸：Φ≤30mm，H≤15mm 7、样品台移动行程：25mm*25mm 8、样品升降行程：20mm 9、光学物镜：5X/NA0.15，10X/NA0.30，20X/NA0.35，50X/NA0.50

仪器主要功能： 1、接触模式，摩擦力/侧向力模式 2、轻敲模式，error 信号/相位信号成像 3、力学模式（F-Z 曲线，RMS-Z 曲线） 4、MFM/EFM（磁力和静电力模式） 5、C-AFM（导电AFM 模式） 6、KPFM（开尔文探针力模式） 7、PFM（压电力模式） 8、纳米刻蚀功能模式 9、光学显微测量模式（标准金相显微镜，可同轴正向打光）